GENTEC捷锐U210系列高纯负压减压器
U210 系列高纯负压减压器
U210 系列高纯负压减压器严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢隔膜式结构, 金属硬密封
后座安装, 面板安装可选
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光
产品尺寸图
产品尺寸图
流量曲线图
流量曲线图
订购指南
订购指南
EX: U210
系列号
SL
母体材质
B
母体孔*
K
阀座材料
- G
输入压力
Q
输出压力
P
压力表
- VSF4
进/出气连接
- H
耐腐代码
- P
选项
- S1
工艺规范
U210 SL: 316L
SLV: 316L VAR
A
B
G
K: PCTFE
G: 250 psi P: 30" Hg Vac~15 psi
Q: 30" Hg Vac~30 psi
R: 30" Hg Vac~60 psi
S: 30" Hg Vac~100 psi
W: 不带压力表
P: psi/bar 表
G: MPa 表
VSF4, VSM4
VSF8, VSM8
TW4, TW6
......
当进出气相同时,
只写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐
无: 标准
H: C-22 阀杆和喷嘴
(详见材质配置表)
无: 后座安装
P: 面板安装
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 其他母体孔样式,敬请联系捷锐公司。