GENTEC捷锐U61系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
U61 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
U61 系列波纹管式 Tied-Diaphragm 高纯减压器严格按 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 不锈钢母体
波纹管式减压结构
波纹管阀芯一体式结构
后座安装
压力表标准连接:VSM4
内部电解抛光
经氦气测试
产品尺寸图
GENTEC捷锐U61 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
流量曲线图
GENTEC捷锐U61 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
订购指南
订购指南
EX: U61
系列号
SL
母体
B
母体孔
K
阀座材料
- D
输入压力
F
输出压力
P
压力表
- VSF4- VSM4
进气/出气连接
- E
流道表面
- H
耐腐代码
U61
U61A
SL: 316L
A
B
G
K: PCTFE
V: Vespel®
D: 3000 psi
X: 2200 psi
E: 1500 psi
F: 500 psi
G: 0 ~ 250 psi
H: 0 ~ 150 psi
I: 0 ~ 100 psi
J: 0 ~ 75 psi
K: 0 ~ 50 psi
L: 0 ~ 25 psi
W: 不带压力表
P: psi/bar 表
G: MPa 表
VSF8, VSM8
VSF12, VSM12
VSF16, VSM16
TW12, TW16
......
当进出气相同时,
请写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐公司。
E: Ra 10 μin
无: 标准
H: HC22 阀杆和喷嘴
( 详见上表 )

*: 压力表如需订购 MPa 表,敬请联系捷锐公司。