U11 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
U11 系列单级 Tied-Diaphragm 高纯减压器严格按 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢隔膜式结构,金属硬密封
膜片阀芯一体式结构
后座安装,面板安装可选
压力表标准连接:VSM4
内部电解抛光
经氦气测试