GENTEC捷锐U13 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
U13 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
U13 系列单级 Tied-Diaphragm 高纯减压器严格按 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢隔膜式结构,金属硬密封
膜片阀芯一体式结构
后座安装,面板安装可选
压力表标准连接:VSM4
内部电解抛光
经氦气测试
产品尺寸图
GENTEC捷锐U13 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
流量曲线图
GENTEC捷锐U13 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
订购指南
订购指南
EX: U13
系列号
SL
母体
B
母体孔
K
阀座材料
- D
输入压力
F
输出压力
P
压力表
- VSF4 - VSM4
进气/出气连接
- E
流道表面
- H
耐腐代码
- P
选项
U13
U13A
SL: 316L
SLV: 316L VAR
A
B
G
K: PCTFE
V: Vespel®
D: 3000 psi
F: 500 psi
G: 0 ~ 250 psi
H: 0 ~ 150 psi
I: 0 ~ 100 psi
K: 0 ~ 50 psi
L: 0 ~ 25 psi
W: 不带压力表
P: psi/bar 表
G: MPa 表
VSF4, VSM4
VSF8, VSM8
TW6, TW8
......
当进出气相同时,
请写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐公司。
E: Ra 10 μin 无: 标准
H: HC22 阀杆和喷嘴
( 详见上表 )
无: 后座安装
P: 面板安装