U21 系列高纯减压器
U21 系列高纯减压器严格按照 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 不锈钢母体
膜片式硬密封
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光
经氦气测试