GENTEC捷锐U21 系列高纯减压器
U21 系列高纯减压器
U21 系列高纯减压器严格按照 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 不锈钢母体
膜片式硬密封
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光
经氦气测试
产品尺寸图
GENTEC捷锐U21 系列高纯减压器
流量曲线图
GENTEC捷锐U21 系列高纯减压器
订购指南
订购指南
EX: U21
型号
SL
型号
G
母体孔
K
阀座
- D
输入压力
F
输出压力
P-
压力表
- VSF4 - VSM4
进气/出气连接
- P
选项
U21 SL: 316L A
B
G
J
M
K: PCTFE
V: Vespel®
D: 3000 psi
F: 500 psi
F: 0~500 psi
G: 0~250 psi
I: 0~100 psi
K: 0~50 psi
L: 0~25 psi
W: 不带压力表
P: psi / bar 表
G: MPa 表*
VSF4, VSM4, TW4
......
当进出气相同时,
请写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐公司。
无: Ra 20 μin
E: Ra 10 μin
P: 面板安装
H: Hastelloy® 膜片

*: 压力表如需订购 MPa 表,敬请联系捷锐公司。