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U21 系列高纯减压器
U21 系列高纯减压器严格按照 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢隔膜式结构,金属硬密封
后座安装, 面板安装可选
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光