GENTEC捷锐U41 系列高纯减压器
U41 系列高纯减压器
U41 系列波纹管式减压器严格按 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 不锈钢母体
波纹管式减压结构
后座安装, 面板安装可选
压力表标准连接:VSM4
内部电解抛光
产品尺寸图
GENTEC捷锐U41 系列高纯减压器
流量曲线图
GENTEC捷锐U41 系列高纯减压器
订购指南
订购指南
EX: U41
系列号
SL
母体材质
B
母体孔*
K
阀座材料
- D
输入压力
F
输出压力
P
压力表配置
- VSF4 - VSM4
进/出气连接
- P
选项
- S1
工艺规范
U41 SL: 316L
A
B
G
K: PCTFE
V: Vespel®
D: 3000 psi
E: 0 ~ 1500 psi
F: 0 ~ 500 psi
W: 不带压力表
P: psi/bar 表
G: MPa 表
VSF4, VSM4
TW4, TW6
......
当进出气相同时,
请写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐公司
无: 后座安装
P: 面板安装
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 其他母体孔样式,敬请联系捷锐公司。