GENTEC捷锐U10系列高纯减压器
U10 系列高纯减压器
U10 系列高纯减压器严格按照 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
母体采用优质不锈钢
不锈钢隔膜式结构,金属硬密封
可采用后座安装
内部电解抛光
产品尺寸图
GENTEC捷锐U10系列高纯减压器
流量曲线图
GENTEC捷锐U10系列高纯减压器
订购指南
订购指南
EX: U10
系列号
SL
母体材质
A
母体孔
K
阀座材料
- I
输入压力
L
输出压力
W
压力表配置
- VSF4 - VSM4
进/出气连接
- E
流道表面
- H
耐腐代码

选项
U10
U10A
SL: 316L
SLV: 316L VAR
A
B
K: PCTFE
V: Vespel®
D: 3000 psi
F: 500 psi
H: 150 psi
I: 100 psi
H: 0~150 psi
I: 0~100 psi
K: 0~50 psi
L: 0~25 psi
W: 不带压力表
VSF4
VSM4
TW4
......
当进出气相同时,
请写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐公司。
E: Ra 10 μin
无: 标准
H: HC22 阀杆和喷嘴
( 详见上表 )
无: 后座安装