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GENTEC捷锐DV90 系列超高纯膜片阀
DV90 系列超高纯膜片阀
DV90 系列超高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，符合 SEMI 标准，适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力：300 psi
FSR 或对焊连接
膜片式硬密封
阀门前后均可增加吹扫接口，方便管路清洁处理
内部无弹簧，减少污染，使气体更洁净
经过氦气测试
产品尺寸图
GENTEC捷锐DV90 系列超高纯膜片阀
订购指南
EX: SL
母体		 - DV90
系列号		 B
结构型式		 - VM4
进出气连接		 - E
选项
SL: 316L DV90 ( 吹扫孔，1/4"外螺纹 FSR 接头 )
None: 无吹扫孔
U: 带进气吹扫孔
D: 带出气吹扫孔
B: 带进出气吹扫孔
 VSM8: 1/2"旋转式外螺纹 FSR 接头
VSF8: 1/2"旋转式内螺纹 FSR 接头
TW8: 1/2"对焊管接头
TW12: 3/4"对焊管接头
......
其它连接请联系捷鋭公司
 E: 7 μin( EP )
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