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DV87 系列高纯膜片阀
DV87 系列超高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力:150 psi ( 气动 ),300 psi ( 手动 )
手动或气动可选
旋钮可带锁 (LOTO) 保护
呆滞容积小于 3.0 cc
特殊流道设计,减少颗粒
100% 氦气测试
开关寿命一百万次以上