GENTEC捷锐DV87 系列高纯膜片阀
DV87 系列高纯膜片阀
DV87 系列超高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力:150 psi ( 气动 ),300 psi ( 手动 )
手动或气动可选
旋钮可带锁 (LOTO) 保护
呆滞容积小于 3.0 cc
特殊流道设计,减少颗粒
100% 氦气测试
开关寿命一百万次以上
产品图示
GENTEC捷锐DV87 系列高纯膜片阀
产品尺寸图
GENTEC捷锐DV87 系列高纯膜片阀
订购指南
EX: SL
阀体材质
- DV87
系列号
P
驱动方式
L
工作压力
- VSF8
进/出气连接*
- K
阀座材料
- NO
选项
- S1
工艺规范
SL: 316L
SLV: 316L VAR
DV87 M: 手动
L: 带锁手动
L: 300 psi VM8: 1/2"外螺纹 FSR 接头
VSM8: 1/2"旋转式外螺纹 FSR 接头
VSF8: 1/2"旋转式内螺纹 FSR 接头
TW8: 1/2"对焊管接头
......
其它连接请联系捷鋭公司
K: PCTFE
V: Vespel®
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺
SL: 316L
SLV: 316L VAR
DV87 P: 气动 S: 150 psi VM8: 1/2"外螺纹 FSR 接头
VSM8: 1/2"旋转式外螺纹 FSR 接头
VSF8: 1/2"旋转式内螺纹 FSR 接头
TW8: 1/2"对焊管接头
......
其它连接请联系捷鋭公司
K: PCTFE
V: Vespel®
空:常闭
NO: 常开
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 标准产品进出气口相同,只列一个;不同时前面表示进气,后面表示出气。

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