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DV86 系列高纯膜片阀
DV86 系列高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力:300 psi, 3500 psi
316L 或 316L VAR 不锈钢阀体
手动或气动可选
旋钮可带锁 (LOTO) 保护
FSR 或对焊连接
内部无弹簧设计
膜片式硬密封,泄漏率低
经过氦气测试
使用寿命长