DV86 系列高纯膜片阀-捷锐集团

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GENTEC捷锐DV86 系列高纯膜片阀

DV86 系列高纯膜片阀

DV86 系列高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，符合 SEMI 标准，适用于半导体行业特种气体。

优势特点

最大工作压力：300 psi, 3500 psi

316L 或 316L VAR 不锈钢阀体

手动或气动可选

旋钮可带锁 (LOTO) 保护

FSR 或对焊连接

内部无弹簧设计

膜片式硬密封，泄漏率低

经过氦气测试

使用寿命长

流量

Cv=0.3(气动)，Cv=0.25(手动)
最高工作压力

3500 psi
泄漏率

1x10^-9 atm cc/sec He
工作温度

-40°C ~ 65°C
内部容积

1.6 cc

产品图示

GENTEC捷锐DV86 系列超高纯膜片阀

产品尺寸图

GENTEC捷锐DV86 系列超高纯膜片阀

订购指南

EX:	SL 阀体材质	- DV86 系列号	M 驱动方式	H 工作压力	- VM4 进/出气连接*	- K 阀座材料	- IS 选项	- S1 工艺规范
	SL: 316L SLV: 316L VAR	DV86	M: 手动 B: 手柄式 L: 带锁手动 P: 气动	H: 3500 psi L: 300 psi	VM4: 1/4"外螺纹 FSR 接头 VM8: 1/2"外螺纹 FSR 接头 VSM4: 1/4"旋转式外螺纹 FSR 接头 TW4: 1/4"对焊管接头 TW6: 3/8"对焊管接头 TW8: 1/2"对焊管接头 ...... 其它连接请联系捷鋭公司	K: PCTFE V: Vespel^®	空：标准品 (常闭） NO: 常开（低压气动） IS：电子指示器（高压气动）	S1: 超高纯工艺 S2: 光伏工艺

*: 标准产品进出气口相同，只列一个；不同时前面表示进气，后面表示出气。

IS: 在订购高压气动阀门时，方可选电子指示器。

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