GENTEC捷锐DV86 系列高纯膜片阀
DV86 系列高纯膜片阀
DV86 系列高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力:300 psi, 3500 psi
316L 或 316L VAR 不锈钢阀体
手动或气动可选
旋钮可带锁 (LOTO) 保护
FSR 或对焊连接
内部无弹簧设计
膜片式硬密封,泄漏率低
经过氦气测试
使用寿命长
产品图示
GENTEC捷锐DV86 系列超高纯膜片阀
产品尺寸图
GENTEC捷锐DV86 系列超高纯膜片阀
订购指南
EX: SL
阀体材质
- DV86
系列号
M
驱动方式
H
工作压力
- VM4
进/出气连接*
- K
阀座材料
- IS
选项
- S1
工艺规范
SL: 316L
SLV: 316L VAR
DV86 M: 手动
B: 手柄式
L: 带锁手动
P: 气动
H: 3500 psi
L: 300 psi
VM4: 1/4"外螺纹 FSR 接头
VM8: 1/2"外螺纹 FSR 接头
VSM4: 1/4"旋转式外螺纹 FSR 接头
TW4: 1/4"对焊管接头
TW6: 3/8"对焊管接头
TW8: 1/2"对焊管接头
......
其它连接请联系捷鋭公司
K: PCTFE
V: Vespel®
空:标准品 (常闭)
NO: 常开(低压气动)
IS:电子指示器(高压气动)
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 标准产品进出气口相同,只列一个;不同时前面表示进气,后面表示出气。

IS: 在订购高压气动阀门时,方可选电子指示器。

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