DV86 系列超高纯膜片阀
DV86 系列超高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力:300 psi ( 气动 ),3500 psi ( 气动和手动 )
手动或者气动式
FSR 或对焊连接
内部无弹簧设计
旋钮带开关指示窗口
膜片式硬密封,泄漏率低
经过氦气测试