MDV86 系列高纯膜片阀组-捷锐集团

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GENTEC捷锐MDV86 系列高纯膜片阀

MDV86 系列高纯膜片阀组

MDV86 系列高纯膜片阀组严格按 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，符合 SEMI 标准，适用于半导体行业特种气体。

优势特点

最大工作压力：300 psi，3500 psi

316L 或 316L VAR 不锈钢阀体

双阀组一体式设计，结构更紧凑

手动或者气动式

FSR 或对焊连接

内部无弹簧设计

膜片式硬密封，泄漏率低

经过氦气测试

使用寿命长

流量

Cv=0.3(气动), 0.25(手动)
最高工作压力

3500 psi
泄漏率

1x10^-9 atm cc/sec He
工作温度

-40°C ~ 65°C
内部容积

3.2 cc

产品图

GENTEC捷锐MDV86 系列超高纯膜片阀

产品尺寸图

GENTEC捷锐MDV86 系列超高纯膜片阀

流道示意图

GENTEC捷锐MDV86 系列超高纯膜片阀

订购指南

EX:	SL 母体	- MDV86 系列号	P 驱动方式	L 工作压力	- A 流道形式	- VSF4 - VSF4 进出气连接	- K 阀座材料	E 选项	- NO 选项
	SL: 316L SLV: 316 VAR	MDV86	M: 手轮 P: 气动	H: 3500 psi L: 300 psi S: 150 psi	A: 两进一出，平行式 B: 一进两出，平行式 C: 两进一出，垂直式 D: 一进两出，垂直式	VSM4: 1/4"旋转式外螺纹 FSR 接头 VSF4: 1/4"旋转式内螺纹 FSR 接头 TW4: 1/4"对焊管接头 TW6: 3/8"对焊管接头 ...... 其它连接请联系捷鋭公司	K: PCTFE V: Vespel^®	空: 10 ~ 15 μin E: 7 μin( EP )	无: 标准产品 NO: 低压气动常开型 NC: 低压气动常闭型 IS: 高压带电子指示器

*: 标准产品进出气口相同，只列一个；不同时前面表示进气，后面表示出气。

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