GENTEC捷锐MDV86 系列超高纯膜片阀
MDV86 系列超高纯膜片阀组
MDV86 系列超高纯膜片阀组严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力:300 psi ( 气动 ),3500 psi ( 气动和手动 )
手动或者气动式
FSR 或对焊连接
内部无弹簧设计
旋钮带开关指示窗口
膜片式硬密封,泄漏率低
经过氦气测试
流道示意图
GENTEC捷锐MDV86 系列超高纯膜片阀
产品尺寸图
GENTEC捷锐MDV86 系列超高纯膜片阀
订购指南
EX: SL
母体
- MDV86
系列号
P
驱动方式
L
工作压力
- A
流道形式
- VSF4 - VSF4
进出气连接
- K
阀座材料
E
选项
- NO
选项
SL: 316L
SLV: 316 VAR
MDV86 M: 手轮
P: 气动
H: 3500 psi
L: 300 psi
S: 150 psi
A: 两进一出,平行式
B: 一进两出,平行式
C: 两进一出,垂直式
D: 一进两出,垂直式
VSM4: 1/4"旋转式外螺纹 FSR 接头
VSF4: 1/4"旋转式内螺纹 FSR 接头
TW4: 1/4"对焊管接头
TW6: 3/8"对焊管接头
......
其它连接请联系捷鋭公司
K: PCTFE
V: Vespel®
空: 10 ~ 15 μin
E: 7 μin( EP )
无: 标准产品
NO: 低压气动常开型
NC: 低压气动常闭型
IS: 高压带电子指示器
资料下载
2D
3D