GENTEC捷锐DV88 系列高纯膜片阀
DV88 系列超高纯膜片阀
DV88 系列高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力:1500 psi ,3500 psi
FSR 或对焊连接
膜片式硬密封,泄漏率低
经过氦气测试
产品尺寸图
GENTEC捷锐DV88 系列高纯膜片阀
订购指南
EX: SL
阀体材质
- DV88
系列号
M
驱动方式
H
工作压力
- VM8
进/出气连接*
- S2
工艺规范
SL: 316L DV88 M: 手动 H: 3500 psi
M : 1500 psi
VM8: 1/2"外螺纹 FSR 接头
TW8: 1/2"对焊管接头
......
其它连接请联系捷鋭公司
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 标准产品进出气口相同,只列一个;不同时前面表示进气,后面表示出气。

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