U19 系列 Tied-Diaphragm 高纯减压器
U19 系列单级 Tied-Diaphragm 高纯减压器严格按 SEMI 要求制造, 在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装, 适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢隔膜式结构,金属硬密封
膜片提动阀芯式结构
后座安装/面板安装可选
压力表标准连接: VSM4
高输出压力稳定性
内部流道(湿润表面)符合 SEMI 标准要求制造