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GENTEC捷锐DV51 系列超高纯膜片阀
DV51 系列超高纯膜片阀
DV51 系列超高纯膜片阀严格按 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，符合 SEMI 标准，适用于半导体行业特种气体。
优势特点
最大工作压力：150 psi, 300 psi
FSR 连接
内部无弹簧设计
膜片式硬密封，泄漏率低
经过氦气测试
产品图示
GENTEC捷锐DV51 系列超高纯膜片阀
产品尺寸图
GENTEC捷锐DV51 系列超高纯膜片阀
订购指南
EX: SL
母体		 - DV51
系列号		 M
驱动方式		 L
工作压力		 - VM4
进出气连接		 - NO
选项
SL: 316L DV51 手动：
B: 手柄式
N: 手轮式，无开关显示
M: 手轮式，带开关显示，90°开关
气动：
P: 气动（标准常闭）
 L: 300 psi
S: 150 psi
 VM4: 1/4"外螺纹 FSR 接头
......
其它连接请联系捷鋭公司
 空：标准品
NO: 常开（气动）
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