ALD16 系列膜片阀-捷锐集团

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GENTEC捷锐ALD16 系列高纯膜片阀

ALD16 系列膜片阀

ALD16 系列高纯膜片阀适用于半导体行业的原子层沉积工艺。

优势特点

适用于超高纯应用场合

高速气动执行器，响应时间＜20ms

FSR 接头或对焊连接

100% 氦检漏测试

最大工作压力： 300 psi

最小工作压力：真空

驱动压力： 60 ~ 85 psi

入口连接： 1/8" NPT (F)

工作状态：常闭，常开

湿润表面： Ra 5 μin

流量

Cv=0.27
最大压力

300 psi
泄漏率

1x10^-9 atm cc/sec He
温度

ALD16： 0°C~120°C
ALD16T： 0°C~200°C
内部容积

1.6 cc

产品图

GENTEC捷锐ALD16 系列膜片阀

产品尺寸图

GENTEC捷锐ALD16 系列膜片阀

订购指南

EX：	SLV 阀体材质	- ALD16 系列号	T 温度	P 驱动方式	L 工作压力	-VM4 进/出气连接*	- NO 选项	- IS 选项	- S1 工艺规范
	SLV: 316L VAR	ALD16	无: 最高 120℃ T: 最高 200℃	P: 气动	S: 150 psi L: 300 psi	VM4: 1/4"面密封外螺纹接头 VSM4: 1/4"面密封旋转式外螺纹接头 VSF4: 1/4"面密封旋转式内螺纹接头 TW4: 1/4" 对焊管接头 ...... 其它连接请联系捷锐	无: 常闭型执行器 NO: 常开型执行器	IS: 带电子指示器 IV: 带电磁阀	S1: 超高纯工艺 S2: 光伏工艺

*: 标准产品进出气口相同，只列一个；不同时前面表示进气，后面表示出气。

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