ALD37 系列高纯膜片阀-捷锐集团

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GENTEC捷锐ALD37 系列高纯膜片阀

ALD37 系列高纯膜片阀

ALD37 系列高纯膜片阀适用于半导体行业的原子层沉积工艺。

优势特点

适用于超高纯应用场合

高速气动执行器，响应时间 ≤ 5ms

流量调节装置保证阀门间精确一致的 Cv

FSR 接头或对焊连接

100% 氦检漏测试

最大工作压力： 150 psi

最小工作压力：真空

驱动压力： 50 ~ 90 psi

入口连接： M5×0.8 (F)

工作状态：常闭

湿润表面: Ra 5 μin

流量

Cv=0.7
工作压力

150 psi
泄漏率

1x10^-9 atm cc/sec He
温度

ALD37： 0°C~200°C (32℉~392℉)
内部容积

4.3 cc

产品图示

GENTEC捷锐ALD37 系列高纯膜片阀

产品尺寸图

GENTEC捷锐ALD37 系列高纯膜片阀

订购指南

EX:	SLV 阀体材质	- ALD37 系列号	P 驱动方式	S 工作压力*	- VSF8 进/出气连接**	- IS 选项	- S1 工艺规范
	SLV: 316L VAR SLVV: 316L VIM VAR	ALD37	P: 气动	S: 150 psi	VSM8: 1/2″ 旋转式外螺纹 FSR 接头 VSF8: 1/2″ 旋转式内螺纹 FSR 接头 TW8: 1/2″ 对焊管接头 ...... 其它连接请联系捷锐	IS: 带电子指示器 IV: 带电磁阀 IH: 带加热器安装孔	S1: 超高纯工艺 S2: 光伏工艺

*: 建议工作压力低于 35psig（ 2.4bar）, 最大程度地延长了循环寿命

**: 进出气相同

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