GENTEC捷锐U211系列高纯减压器
U211 系列高纯减压器
U211 系列高纯减压器严格按 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢隔膜式结构,金属硬密封
后座安装,面板安装可选
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光
产品尺寸图
GENTEC捷锐U211系列高纯减压器
流量曲线图
GENTEC捷锐U211系列高纯减压器
订购指南
订购指南
EX: U211
系列号
SL
母体材质
B
母体孔*
K
阀座材料
- D
输入压力
H
输出压力
P
压力表
- VSF4
进/出气连接
- H
耐腐代码
- P
选项
- S1
工艺规范
U211 SL: 316L
SLV: 316L VAR
A
B
G
K: PCTFE
V: Vespel®
C: 4500 psi
D: 3000 psi
F: 0 ~ 500 psi
G: 0 ~ 250 psi
H: 0 ~ 150 psi
I: 0 ~ 100 psi
W: 不带压力表
P: psi/bar 表
G: MPa 表
VSF4, VSM4
VSF8, VSM8
TW4, TW6
......
当进出气相同时,
只写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐
无: 标准
H: C-22 阀杆和喷嘴
(详见材质配置表)
无: 后座安装
P: 面板安装
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺
U211 SL: 316L
SLV: 316L VAR
A
B
G
K: PCTFE
V: Vespel®
F: 500 psi
G: 0 ~ 250 psi
H: 0 ~ 150 psi
I: 0 ~ 100 psi
K: 0 ~ 50 psi
L: 0 ~ 25 psi
W: 不带压力表
P: psi/bar 表
G: MPa 表
VSF4, VSM4
VSF8, VSM8
TW4, TW6
......
当进出气相同时,
只写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐
无: 标准
H: C-22 阀杆和喷嘴
(详见材质配置表)
无: 后座安装
P: 面板安装
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 其他母体孔样式,敬请联系捷锐公司。