U73 系列高纯背压阀
U73 系列膜片式背压阀用于调节上游压力,压力控制精确,严格按 SEMI 要求制造,在 Class 100 (ISO 5) 无尘室组装测试包装,适用于半导体制程中的特种气体控制。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢膜片式结构,金属硬密封
后座安装,面板安装可选
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光














































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