GENTEC捷锐U71系列高纯背压阀
U71 系列高纯背压阀
U71 系列膜片式背压阀用于调节上游压力,压力控制精确,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢膜片式结构,金属硬密封
后座安装,面板安装可选
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光
产品尺寸图
GENTEC捷锐U71系列高纯背压阀
流量曲线图
GENTEC捷锐U71系列高纯背压阀
订购指南
订购指南
EX: U71
系列号
SL
母体材质
A
母体孔*
K
阀座材料
- G
压力范围
W
压力表
- VSF4 - VSM4
进/出气连接
- H
耐腐代码
- P
选项
- S1
工艺规范
U71 SL: 316L
SLV: 316L VAR
A
D
K: PCTFE
G: 0 ~ 250 psi
H: 0 ~ 150 psi
I: 0 ~ 100 psi
J: 0 ~ 75 psi
K: 0 ~ 50 psi
L: 0 ~ 25 psi
W: 不带压力表
P: psi/bar 表
G: MPa 表
VSF4, VSM4
VSF8, VSM8
......
当进出气相同时,
只写一个连接代码;
其它连接请联系捷锐
无: 316L
H: C-22 膜片
无: 后座安装
P: 面板安装
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 其他母体孔样式,敬请联系捷锐公司。