
U71 系列高纯背压阀
U71 系列膜片式背压阀用于调节上游压力,压力控制精确,在百级无尘室组装测试包装,符合 SEMI 标准,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢母体
不锈钢膜片式结构,金属硬密封
后座安装,面板安装可选
压力表标准连接: VSM4
内部电解抛光