GENTEC 捷锐 GURA20SL 系列超高纯电信号压力表
GURA20SL 系列超高纯电信号压力表
GENTEC® GURA20SL 系列超高纯电信号压力表可应用于半导体、电子、医疗、生物技术和制药工业等行业。 电信号压力表工作原理是将常开触点的干簧管和磁铁安装在压力表内,在压力指示针(带磁铁)的旋转带动下,激发干簧管触点导通或断开,以达到自动控制和报警的目的。
优势特点
可用于压力系统实现自动控制和信号预警
报警点可以设定,设定范围在满量程的 5%~50%
采用进口波登管
内部流道采用电化学抛光处理 粗糙度: 10 μin (0.25μm)
内部流道(湿润表面)符合 SEMI 标准要求制造
产品 100% 氦检 氦检泄漏率<1×10-9mbar*L/s
精度等级: 3-2-3级、 2.5级
尺寸图
尺寸图
压力量程
压力量程
订购指南
Ex: GURA20SL
产品系列
- V0.5
压力量程
M
压力单位
- VSF4
连接螺纹
- S1
工艺规范
GURA20SL 见压力量程表 M: MPa
p/b: psi / bar
p/k: psi / kPa
VSM4: 1/4”FSR (M) 旋转式外螺纹
VSF4: 1/4”FSR (F) 旋转式内螺纹
S1: 超高纯工艺
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