V400 系列超高纯钢瓶阀
V400 系列钢瓶阀,适用于半导体电子气体及工业高纯气体、腐蚀性气体。
优势特点
有手动操作和气动控制两种形式
在符合超高纯标准的洁净厂房内生产制造,百级洁净室装配
100% 高压气密氦检
带强制膜片提升结构,阀密封便于更换
流道过渡圆滑,符合 SEMI 标准要求
多种进出气连接标准及规格(CGA, JIS, ISO, GB 等)
气动控制带手动保险锁
出口吊链式保护帽
内部流道无弹簧
外部双重密封保护