IGS MV3系列膜片式计量阀-捷锐集团

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IGS MV3系列膜片式计量阀

IGS MV3系列膜片式计量阀

MV3 系列膜片式计量阀严格按照 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，适用于半导体行业特种气体。

优势特点

316L VIM VAR, 316L VAR 不锈钢材质

带刻度旋钮开关

经过氦气测试

流道 EP 处理

1.125″ C-Seal 或 1.125″ W-Seal

流量

MV30 系列Cv=0.25
MV31 系列Cv=0.03
最高工作压力

150 psi
母体泄漏率

2x10^-9 atm cc/sec He
工作温度

-10°C ~ 80°C

产品尺寸图

产品尺寸图

流量曲线图

流量曲线图

订购指南

Ex:	SLVV 母体	- MV30 系列号	M 旋钮样式	- 11C2 连接样式	- S1 工艺规范
	SLV: 316L VAR SLVV: 316L VIM VAR	MV30 MV31	M: 带刻度	11C2: 1.125″ C-Seal，两孔 11W2: 1.125″ W-Seal，两孔 …… 其他形式接头可供选择	S1: 超高纯工艺

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