IGS DV02系列气动膜片阀
IGS DV02系列气动膜片阀
DV02 系列气动膜片阀严格按照 SEMI 要求制造,在百级无尘室组装测试包装,适用于半导体行业特种气体。
优势特点
316L VIM VAR或316L VAR母体
结构紧凑,节约空间
气动式, 常开式、常闭式和带位置传感器可选
膜片式硬密封
100% 氦气测试
1.125″ C-Seal或1.125″ W-Seal
产品尺寸图
产品尺寸图
位置感測器
位置感測器
进出气口示意图
进出气口示意图
订购指南
EX: SLVV
母体材质
- DV02
系列号
P
驱动方式
- 11C2
连接样式
- NO
选项
- IS
选项
- S1
工艺规范
SLV: 316L VAR
SLVV: 316L VIM VAR
DV02
P: 气动
11C2: 1.125"C-Seal, 两孔
11C3: 1.125"C-Seal, 三孔
11W2: 1.125"W-Seal, 两孔
11W3: 1.125"W-Seal, 三孔
……
其他形式接头可供选择
无: 常闭型(默认标准)
NO: 常开型
无: 标准
IS: 带位置传感器
S1: 超高纯工艺
资料下载
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