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IGS DV01系列气动膜片阀
IGS DV01系列气动膜片阀
DV01 系列气动膜片阀严格按照 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，适用于半导体行业特种气体。
优势特点
316L VIM VAR或316L VAR母体
结构紧凑，节约空间
气动式， 常开、常闭可选
膜片式硬密封
100% 氦气测试
1.125″ C-Seal或1.125″ W-Seal
产品尺寸图
产品尺寸图
进出气口示意图
进出气口示意图
订购指南
EX: SLVV
母体材质		 - DV01
系列号		 P
驱动方式		 - 11C2
连接样式		 - NO
选项		 - S1
工艺规范
SLV: 316L VAR
SLVV: 316L VIM VAR
 DV01
 P: 气动
 11C2: 1.125"C-Seal, 两孔
11C3: 1.125"C-Seal, 三孔
11W2: 1.125"W-Seal, 两孔
11W3: 1.125"W-Seal, 三孔
……
其他形式接头可供选择
 无: 常闭型（默认标准）
NO: 常开型
 S1: 超高纯工艺
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3D
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