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IGS R02系列减压器
IGS R02系列减压器
R02 系列减压器严格按照 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，适用于半导体行业特种气体。
优势特点
316L VIM VAR或316L VAR母体
其他湿润零件： 哈氏合金
不锈钢隔膜式结构，金属硬密封
经过氦气测试
流道 EP 处理
1.125″ C-Seal 或 1.125″ W-Seal
产品尺寸图
产品尺寸图
流量曲线图
流量曲线图
进出气口示意图
进出气口示意图
订购指南
EX: SLVV
母体材质		 - R02
系列号		 - K
输出压力		 - 11C2
连接样式		 K
密封材料		 - S1
工艺规范
SLV: 316L VAR
SLVV: 316L VIM VAR
 R02
 I: 0 ~ 100 psi
J: 0 ~ 75 psi
K: 0 ~ 50 psi
L: 0 ~ 25 psi
 11C2: 1.125″ C-Seal，两孔
11W2: 1.125″ W-Seal，两孔
……
其他形式接头可供选择
 K: PCTFE
 S1: 超高纯工艺
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3D
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