IGS R01系列减压器-捷锐集团

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IGS R01系列减压器

IGS R01系列减压器

R01 系列减压器严格按照 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，适用于半导体行业特种气体。

优势特点

316L VIM VAR或316L VAR母体

其他湿润零件：哈氏合金

不锈钢隔膜式结构，金属硬密封

经过氦气测试

流道 EP 处理

1.125″ C-Seal 或 1.125″ W-Seal

流量

R01, Cv=0.06
R01A, Cv=0.1
最大输入压力

150 psi
泄漏率

1x10^-9 atm cc/sec He
工作温度

-40℃~74℃
内部容积

2.4 cc

产品尺寸图

产品尺寸图

流量曲线图

流量曲线图

进出气口示意图

进出气口示意图

订购指南

EX:	SLVV 母体材质	- R01 系列号	- K 输出压力	- 11C2 连接样式	K 密封材料	- S1 工艺规范
	SLV: 316L VAR SLVV: 316L VIM VAR	R01 R01A	I: 0 ~ 100 psi J: 0 ~ 75 psi K: 0 ~ 50 psi L: 0 ~ 25 psi	11C2: 1.125″ C-Seal，两孔 11W2: 1.125″ W-Seal，两孔 …… 其他形式接头可供选择	K: PCTFE	S1: 超高纯工艺

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