GKF系列垫片式过滤器
GENTEC® GKF 系列垫片式过滤器是一种紧凑的全金属过滤器，这些紧凑型过滤器可保护敏感气体组件，如减压器和阀门。在高达 400°C（752°F）的应用中免受颗粒损坏。严格按照 SEMI 要求制造。
优势特点
材质： 316L（ 滤芯、垫片）
过滤精度： 直径大于 0.3μm 的所有颗粒去除率大于 95%
操作条件： 最大压差 P1: 5.1 MPa, P2: 10.4 MPa
最大操作温度： 400oC
有卡箍款式可选
