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PU系列高纯气体终端阀组
PU 系列 UHP 气体终端阀组严格按 SEMI 要求制造，在百级无尘室组装测试包装，符合 SEMI 标准，适用于半导体行业惰性气体。
优势特点
DV86 / DV87 系列膜片阀，U11 / U13 / U21 / U22 系列减压器
整体经过耐压, 氦检, 水分, 氧分, 颗粒物测试
进出气连接: 1/4″, 1/2″ VCR
最大进气压力: 500 psi, 250 psi, 150 psi
最大出气压力: 100 psi, 75 psi, 50 psi
温度: -40 ℃ ~ 74 ℃ (-40 ℉ ~ 165 ℉)
湿润表面: Ra 7 μin
