GENTEC捷锐MV3系列高纯膜片式计量阀
MV3系列高纯膜片式计量阀
MV30 系列膜片式计量阀主要针对半导体制程设备高纯气体应用领域使用。
优势特点
316L 或 316L VAR 不锈钢材料
带刻度旋钮开关
FSR 连接
经过氦气测试
尺寸图
GENTEC捷锐MV3系列高纯膜片式计量阀
流量曲线
GENTEC捷锐MV3系列高纯膜片式计量阀
订购指南
Ex: SL
阀体材料
- MV30
系列号
M
旋钮样式
- VSM4
进/出气连接*
- S1
工艺规范
SL: 316L
SLV: 316L VAR
MV30
MV31
M: 带刻度 VSM4: 1/4″ 旋转式外螺纹 FSR 接头
VSF4: 1/4″ 旋转式内螺纹 FSR 接头
......
其它连接请联系捷锐公司
S1: 超高纯工艺
S2: 光伏工艺

*: 标准产品进出气口相同,只列一个;不同时前面表示进气,后面表示出气。

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