GENTEC捷锐UFS20,UFS30大流量流量开关
UFS20,UFS30大流量流量开关
UFS20, UFS30 系列流量开关为旁路式大流量开关,当管道流量大于额定流量时,发出报警信号。 可与 BSGS (Bulk Specialty Gas Systems) 配套使用,特别适用于半导体行业的超高纯气体、有毒气体或腐蚀性气体的超流量故障报警。
优势特点
1/2": 从负压到 3500 psi
3/4", 1": 从负压到 2400 psi
流量开关规格:
1/2": 225, 350, 500, 950 slpm
3/4": 1100, 1650, 2600 slpm
1": 3000, 4000 slpm
流量开关精确度: ± 20%
安装方向: 传感部分底部进气,垂直方向 8° 内安装,主管路可选水平安装或垂直安装
爆破压力: 3 倍的最大使用压力
耐受压力: 1.5 倍的最大使用压力
产品尺寸图
GENTEC捷锐UFS20,UFS30大流量流量开关
订购指南
规格 连接接头 (进气-出气) A B 水平配管 B 垂直配管 C
1/2”
VSM8-VSF8
TW8
90.1 mm (3.55 in.)
65.8 mm (2.59 in.)
115.6 mm (4.55 in.)
115.6 mm (4.55 in.)
70.7 mm (2.78 in.)
70.7 mm (2.78 in.)
77.5 mm (3.05 in.)
77.5 mm (3.05 in.)
3/4"
VSM12-VSF12
TW12
140.0 mm (5.51 in.)
88.4 mm (3.48 in.)
138.2 mm (5.44 in.)
138.2 mm (5.44 in.)
91.2 mm (3.59 in.)
91.2 mm (3.59 in.)
77.5 mm (3.05 in.)
77.5 mm (3.05 in.)
1"
VSM16-VSF16
TW16
158.0 mm (6.22 in.)
98.5 mm (3.88 in.)
141.5 mm (5.57 in.)
141.5 mm (5.57 in.)
94.5 mm (3.72 in.)
94.5 mm (3.72 in.)
77.5 mm (3.05 in.)
77.5 mm (3.05 in.)
Ex: SL
材料
- UFS20
系列号
- 225
开关流量规格
- VSM8 - VSF8
进/出气连接
- S1
工艺规范
SL: 316L UFS20: 垂直安装型
UFS30: 水平安装型
225: 225 slpm
350: 350 slpm
500: 500 slpm
950: 950 slpm
VSM8: 1/2" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF8: 1/2" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW8: 1/2" 对焊管接头
S1: 超高纯工艺
1100: 1100 slpm
1650: 1650 slpm
2600: 2600 slpm
VSM12: 3/4" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF12: 3/4" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW12: 3/4" 对焊管接头
3000: 3000 slpm
4000: 4000 slpm
VSM16: 1" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF16: 1" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW16: 1" 对焊管接头

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