UFS20,UFS30流量开关
UFS20,UFS30流量开关
UFS20, UFS30 系列流量开关为旁路式大流量开关,当管道流量大于额定流量时,发出报警信号。 可与 BSGS (Bulk Specialty Gas Systems) 配套使用,特别适用于半导体行业的超高纯气体、有毒气体或腐蚀性气体的超流量故障报警。
优势特点
1/2": 从负压到 3500 psi
3/4", 1": 从负压到 2400 psi
流量开关规格:
1/2": 225, 350, 500, 950 slpm
3/4": 1100, 1650, 2600 slpm
1": 3000, 4000 slpm
流量开关精确度: ± 20%
安装方向: 传感部分底部进气,垂直方向 8° 内安装,主管路可选水平安装或垂直安装
爆破压力: 3 倍的最大使用压力
耐受压力: 1.5 倍的最大使用压力
产品尺寸图
产品尺寸图
订购指南
Ex: SL
母体
- UFS20
系列号
- 225
开关流量规格
- VSM8
进气连接
- VSM8
出气连接
SL: 316L UFS20: 垂直安装型
UFS30: 水平安装型
225: 225 slpm
350: 350 slpm
500: 500 slpm
950: 950 slpm
VSM8: 1/2" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF8: 1/2" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW8: 1/2" 对焊管接头
VSM8: 1/2" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF8: 1/2" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW8: 1/2" 对焊管接头
1100: 1100 slpm
1650: 1650 slpm
2600: 2600 slpm
VSM12: 3/4" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF12: 3/4" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW12: 3/4" 对焊管接头
VSM12: 3/4" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF12: 3/4" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW12: 3/4" 对焊管接头
3000: 3000 slpm
4000: 4000 slpm
VSM16: 1" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF16: 1" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW16: 1" 对焊管接头
VSM16: 1" 旋转外内螺纹 FSR 接头
VSF16: 1" 旋转式内螺纹 FSR 接头
TW16: 1" 对焊管接头

UFS20-1200(2).png

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