UFS系列流量开关-捷锐集团

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GENTEC捷锐UFS系列流量开关

UFS系列流量开关

UFS 系列流量开关与相应的电气器件（光、低电压信号器或继电器等）配套使用，特别适用于半导体行业的超高纯气体、有毒气体或腐蚀性气体的超流量报警。

优势特点

工作压力从负压到 3500 psi

流量开关触发点： 10 slpm, 25 slpm, 50 slpm, 100 slpm（氮气 100 psi 下的流量点）

流量开关精确度： ±10%

流量开关触发点的压差值： 0.5 psi

安装方向：底部进气，垂直方向 8° 内安装

爆破压力： 10000 psi

耐受压力： 5000 psi

最高工作压力

3500 psi
外部泄漏率

1x10^-9 atm.cc/sec He
工作温度

-23°C ~ 80°C
内部容积

1.9 cm³

产品尺寸图

GENTEC捷锐UFS系列流量开关

订购指南

规格	连接接头(进气-出气）	H	A	B	J hex
1/4"	VM4 VSF4 TW4 VM4-VSF4 VM4-TW4 VSF4-VM4 VSF4-TW4 TW4-VM4 TW4-VSF4	57 mm (2.25 in.) 101 mm (3.99 in.) 57 mm (2.25 in.) 79 mm (3.12 in.) 57 mm (2.25 in.) 79 mm (3.12 in.) 79 mm (3.12 in.) 57 mm (2.25 in.) 79 mm (3.12 in.)	16 mm (0.625 in.) 38 mm (1.495 in.) 16 mm (0.625 in.) 16 mm (0.625 in.) 16 mm (0.625 in.) 38 mm (1.495 in.) 38 mm (1.495 in.) 16 mm (0.625 in.) 16 mm (0.625 in.)	16 mm (0.625 in.) 38 mm (1.495 in.) 16 mm (0.625 in.) 38 mm (1.495 in.) 16 mm (0.625 in.) 16 mm (0.625 in.) 16 mm (0.625 in.) 16 mm (0.625 in.) 38 mm (1.495 in.)	- S19 mm (S 0.75 in.) - S19 mm (S 0.75 in.) - S19 mm (S 0.75 in.) S19 mm (S 0.75 in.) - S19 mm (S 0.75 in.)

J hex 为 VSF4 的螺母六角尺寸

Ex:	SLV 材料	- UFS 系列号	- 25 开关流量规格	- VM4 进/出气连接*	- S1 工艺规范
	SLV: 316L VAR	UFS: 高洁净流量开关	10: 10 slpm 25: 25 slpm 50: 50 slpm 100: 100 slpm	VM4: 1/4"外螺纹 FSR 接头 VSF4: 1/4"旋转式内螺纹 FSR 接头 TW4: 1/4"对焊管接头 ...... 其它连接请联系捷锐公司	S1: 超高纯工艺

*: 标准产品进出气口相同，只列一个；不同时前面表示进气，后面表示出气。

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