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UFS流量开关
UFS 系列流量开关与相应的电气器件（光、低电压信号器或继电器等）配套使用，特别适用于半导体行业的超高纯气体、有毒气体或腐蚀性气体的超流量报警。
优势特点
工作压力从负压到 3500 psi
流量开关触发点： 10 slpm, 25 slpm, 50 slpm, 100 slpm（氮气 100 psi 下的流量点）
流量开关精确度： ±10%
流量开关触发点的压差值： 0.5 psi (0.034 bar)
安装方向： 底部进气，垂直方向 8° 内安装
爆破压力： 10000 psi
耐受压力： 5000 psi
