MV30 系列膜片式计量阀
GENTEC® MV30 系列膜片式计量阀主要针对半导体制程设备高纯气体应用领域使用。
优势特点
316L 或 316L VAR不锈钢材料
最大工作压力:150 psi (10.3 bar)
流量系数:Cv=0.25
工作温度:-10℃~80℃
带刻度旋钮开关
FSR 连接
经过氦气测试