VG23 系列真空发生器
VG23 系列气控式真空发生器采用真空发生器, 气控阀和单向阀一体式设计， 最高真空度达 -88 kPa。
真空发生器可带持续排放孔， 保持有微量氮气外泄， 使排气气路始终处于惰性状态， 适用于半导体等行业应用。
优势特点
环境温度及使用流体温度: -10~71℃（14°~160℉）
氮气进气口压力范围: 70 ~ 110 psi，连接方式: VM4, VSF4
真空口最大压力: 3500 psi，最高真空度: - 88 kPa*，连接方式: VM4,VSF4,TW4
排放口连接方式: VM4,VSF4,VSM8,VSF8,TW6
常闭型气控阀，驱动气压力: 60 ~ 110 psi
